《微納電子技術》雜志是統(tǒng)計源期刊。
《微納電子技術》雜志基本信息
《微納電子技術》于1964年創(chuàng)辦，全刊信息多卻有條有理，堅持打造交流思想和經(jīng)驗共享的主流平臺，國內刊號為：13-1314/TN，創(chuàng)刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
《微納電子技術》匯集了納米電子、機械、材料、制造、測量以及物理、化學和生物等不同學科新生長出來的微小和微觀領域的科學技術群體，通過報道國內外納米電子技術方面的研究論文和綜述動態(tài)。
雜志主要發(fā)文機構有哪些？發(fā)文量分別是多少？
| 學者姓名 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 劉玉嶺 | 87 | 化學機械拋光；CMP；拋光液；去除速率；ULSI |
| 王辰偉 | 48 | CMP；阻擋層；拋光液；堿性拋光液；化學機械拋... |
| 楊擁軍 | 36 | MEMS；微電子機械系統(tǒng)；微機械；硅；傳感器 |
| 熊繼軍 | 34 | 無線無源；MEMS；壓力傳感器；傳感器；高溫壓力... |
| 郭維廉 | 33 | 共振隧穿二極管；RTD；負阻器件；共振隧穿器件... |
| 蔡理 | 32 | 單電子晶體管；量子元胞自動機；QCA；積分器；... |
| 張文棟 | 31 | 矢量水聽器；MEMS；加速度計；電容式；微機械 |
| 趙正平 | 30 | GAN；高電子遷移率晶體管；MEMS；HEMT；MMIC |
| 黃慶安 | 26 | MEMS；風速風向傳感器；微電子機械系統(tǒng)；無源無... |
| 胡松 | 26 | 光刻機；工件臺；光刻；掩模；生物芯片 |
| 機構名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學院 | 309 | 納米；光刻；晶體管；MEMS；傳感 |
| 中北大學 | 239 | MEMS；微電子；微電子機械；微電子... |
| 中國電子科技集團第十... | 225 | 微電子；微電子機械；微電子機械系... |
| 河北工業(yè)大學 | 183 | CMP；化學機械拋光；機械拋光；拋... |
| 上海交通大學 | 147 | 納米；微電子；微電子機械；微電子... |
| 太原理工大學 | 113 | 納米；傳感；感器；傳感器；氣敏 |
| 中國科學院微電子研究... | 111 | 光刻；納米；電子束光刻；金屬；感... |
| 清華大學 | 74 | 感器；傳感；傳感器；自旋；納米 |
| 專用集成電路與系統(tǒng)國... | 60 | 隧穿；遷移率；共振隧穿；RTD；MEM... |
| 中國科學院大學 | 60 | 微電子；MEMS；微電子機械；微電子... |
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