《微細加工技術(shù)》雜志是部級期刊。
《微細加工技術(shù)》雜志基本信息
《微細加工技術(shù)》于1983年創(chuàng)辦，全刊信息多卻有條有理，堅持打造交流思想和經(jīng)驗共享的主流平臺，國內(nèi)刊號為：43-1140/TN，創(chuàng)刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
雜志主要發(fā)文機構(gòu)有哪些？發(fā)文量分別是多少？
| 學者姓名 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 蔡炳初 | 44 | 微機電系統(tǒng)；MEMS；微機械；形狀記憶合金；微驅(qū)... |
| 趙小林 | 37 | 微機電系統(tǒng)；MEMS；微機械；微機電系統(tǒng)技術(shù)；電... |
| 丁桂甫 | 27 | 微機電系統(tǒng)；MEMS；微機電系統(tǒng)技術(shù)；雙穩(wěn)態(tài)；微... |
| 楊春生 | 20 | 電極；MEMS；微機電系統(tǒng)；壓電；微針 |
| 張玉林 | 20 | 電子束；電子束光刻；微機電系統(tǒng)；抗蝕劑；聚合... |
| 顧文琪 | 19 | 電子束曝光機；聚焦離子束；液態(tài)金屬離子源；電... |
| 馮伯儒 | 19 | 光刻；相移掩模；光刻系統(tǒng)；干涉光刻；光刻技術(shù) |
| 姚漢民 | 18 | 光刻分辨力；投影光刻物鏡；原子束；光刻；光子... |
| 徐東 | 18 | 碳納米管；形狀記憶合金；微驅(qū)動器；納米；圖形... |
| 陳寶欽 | 17 | 電子束光刻；電子束曝光；電子束直寫；抗蝕劑；... |
| 機構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學院 | 192 | 光刻；電子束曝光；曝光機；電子束... |
| 上海交通大學 | 129 | 微機電系統(tǒng)；電系統(tǒng)；機電系統(tǒng)；ME... |
| 清華大學 | 60 | 微細；光刻；微細加工；離子束；聚... |
| 中國科學技術(shù)大學 | 47 | 刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；... |
| 電子工業(yè)部 | 46 | 離子注入；注入機；離子注入機；半... |
| 中國科學院微電子研究... | 38 | 光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝... |
| 中國科學院長春光學精... | 34 | 光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感 |
| 山東大學 | 29 | 電子束；電子束曝光；曝光機；電子... |
| 山東工業(yè)大學 | 28 | 電子束曝光；曝光機；電子束曝光機... |
| 華中理工大學 | 26 | 刻蝕；濺射；半導體；等離子體；離... |
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