《微細加工技術》雜志社地址:長沙市第96號信箱301分箱(長沙黑石鋪)。
雜志社郵編:410111。
《微細加工技術》雜志于1983年創(chuàng)刊,國際刊號:1003-8213,國內刊號:43-1140/TN,現(xiàn)如今被知網收錄(中)、維普收錄(中)、萬方收錄(中)、EI 工程索引(美)、國家圖書館館藏、上海圖書館館藏等收錄,是一本電子類部級期刊,刊期為雙月刊,影響因子為0.19。
雜志所獲的榮譽有:Caj-cd規(guī)范獲獎期刊、北大圖書館收錄期刊等。
雜志主要發(fā)文方向有:綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術等。
雜志主要發(fā)文主題有哪些?
| 機構名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學院 | 192 | 光刻;電子束曝光;曝光機;電子束... |
| 上海交通大學 | 129 | 微機電系統(tǒng);電系統(tǒng);機電系統(tǒng);ME... |
| 清華大學 | 60 | 微細;光刻;微細加工;離子束;聚... |
| 中國科學技術大學 | 47 | 刻蝕;離子束;離子束刻蝕;光刻;... |
| 電子工業(yè)部 | 46 | 離子注入;注入機;離子注入機;半... |
| 中國科學院微電子研究... | 38 | 光刻;掩模;X射線光刻;電子束曝... |
| 中國科學院長春光學精... | 34 | 光柵;MEMS;刻蝕;光刻;傳感 |
| 山東大學 | 29 | 電子束;電子束曝光;曝光機;電子... |
| 山東工業(yè)大學 | 28 | 電子束曝光;曝光機;電子束曝光機... |
| 華中理工大學 | 26 | 刻蝕;濺射;半導體;等離子體;離... |
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